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本所代理之【具冷卻緩衝腔的線性電漿製程機構】專利申請案，成功克服官方意見

本所代理之【具冷卻緩衝腔的線性電漿製程機構】專利申請案，成功克服官方意見，獲准為第【I861789】號發明專利。